- X線分析装置
- 電子線マイクロアナライザ・X線光電子分析装置
- 走査電子顕微鏡（SEM)・透過電子顕微鏡（TEM)
- 原子間力顕微鏡（AFM）
- レーザー顕微鏡
- マイクロスコープ
- 顕微鏡
- 非破壊検査装置
- 接触角計
- 表面検査装置
X線分析装置
エネルギー分散形蛍光X線分析装置
（株）島津製作所
EDXRF分光装置では、光源として機能するX線管がサンプルに直接X線を照射し、サンプルからの蛍光がエネルギー分散型ディテクタで測定されます。
このディテクタはサンプルから直接放射される特性放射線の異なるエネルギーを測定することができます。
サンプルからの放射線をサンプルに含まれている異なる元素からの放射線に分離できます。この分離は分散と呼ばれます。
波長分散方式蛍光X線分析装置
㈱島津製作所
WDXRF分光装置では、光源として機能するX線管がサンプルに直接X線を照射し、サンプルからの蛍光が波長分散型検出システムで測定されます。
個別の元素から発生した特性放射線は、X線をその波長に基づいて、または反対にそのエネルギーに基づいて分離する分光結晶を使用して特定することができます。
このような分析は、連続する(シーケンシャルな)異なる波長で、または固定した位置でX線の散乱強度を測定するか、常に同時に異なる波長でX線の散乱強度を測定することできる。
| 取扱メーカー | 製品名 | 金額 |
|---|---|---|
| （株）島津製作所 | X線回折装置（XRD） | 1,760万円～ |
| エネルギー分散形蛍光X線分析装置（EDX） | 940万円～ | |
| 波長分散方式蛍光X線分析装置（WDX） | 1,864万円～ | |
| ㈱リガク | X線分析装置 | お問い合わせください |
電子線マイクロアナライザ・X線光電子分析装置
電子線マイクロアナライザ
（株）島津製作所
電子プローブマイクロアナライザー (Electron Probe Micro Analyzer; EPMA) とは、真空中で細く絞られた電子線を固体試料表面に照射し、表面の組織及び形態の観察とミクロンオーダーの局所元素分析を行う分析機器1,2) である。
X線光電子分析装置（XPS）
（株）島津製作所
X線光電子分光法は、表面数nmに存在する元素 (Li～U)に対し、定性・定量分析のみならず、材料の特性を決める化学結合状態分析ができる手法として広く普及しています。
X線光電子分光法はXPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy) の名称だけでなく、ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) の呼び名で1970年代以降広く知られています。
| 取扱メーカー | 製品名 | 金額 |
|---|---|---|
| （株）島津製作所 | 電子線マイクロアナライザ(EPMA) | 14,320万円～ |
| X線光電子分析装置（XPS、ESCA) | 16,900万円～ |
走査電子顕微鏡（SEM)・透過電子顕微鏡（TEM)
走査電子顕微鏡（SEM）
日本電子㈱
走査電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)は電子線を試料に当てて表面を観察する装置であり、X 線検出器を取り付けて元素分析を行うこともできる。
卓上型は電源容量が100Vで使用できます。
SEMは電子ビームをつくる鏡体、試料を置く試料室、鏡体と試料室を真空化する真空ポンプ、ディスプレイと操作部などで構成されています。
走査した電子ビームの当たった部分から出た二次電子や反射電子を検出器でとらえて電気信号に変換し、試料表面の拡大像をディスプレイに表示する仕組みです。
二次電子は試料の表面形状を観察する時に用います。
一般的にSEM像と言われると、この像を指します。
透過電子顕微鏡（TEM）
日本電子㈱
透過電子顕微鏡（TEM）は、数百倍～数百万倍の広い倍率をカバーする試料の投影拡大像を得ることのできる装置です。
また、Ｘ線分析装置や電子線エネルギー損失分光装置を付加することにより、微小部の元素分析や状態解析までも可能となります（分析電子顕微鏡：AEM）。
| 取扱メーカー | 製品名 | 金額 |
|---|---|---|
| サーモフィッシャーサイエンティフィック | 走査型電子顕微鏡（SEM） | お問い合わせください |
| 透過電子顕微鏡（TEM） | お問い合わせください | |
| 日本電子㈱ | 走査型電子顕微鏡（SEM） | お問い合わせください |
| 透過電子顕微鏡（TEM） | お問い合わせください | |
| 卓上型走査電子顕微鏡（SEM） | お問い合わせください |
原子間力顕微鏡（AFM）
走査型プローブ顕微鏡（AFM）（FM-AFM）
（株）島津製作所
走査型プローブ顕微鏡は、走査型トンネル顕微鏡（STM）や原子間力顕微鏡（AFM）に代表される、微小な針（探針：プローブ）で試料をなぞって、その形状や性質を観察することができる新しい顕微鏡の総称です。
従来の光学顕微鏡や電子顕微鏡と異なり、撮像自体にはビームやレンズを使用しないが、一定の条件と試料に対して原子・分子レベルの分解能を持ち、拡大能力では透過型電子顕微鏡に並ぶ。
また、真空環境を必ずしも必要とせず、大気中や溶液中で使用できるのも大きな特長です。
| 取扱メーカー | 製品名 | 金額 |
|---|---|---|
| （株）島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡(AFM)FM-AFM | 5,000万円～ |
レーザー顕微鏡
マイクロスコープ
デジタルマイクロスコープ
㈱ハイロックス
デジタルマイクロスコープは、カラーでの写真撮影、3D合成表示、動画撮影、寸法測定・面積計測などの機能を持っており、観る・録る・測ることによって試料表面の各種の情報を得ることが可能です。
カラー・高倍率で写真撮影、高倍率で観察をしながらの寸法測定、試料表面の凹凸を簡易的な3D表示、高倍率での動画撮影などが可能です。
| 取扱メーカー | 製品名 | 金額 |
|---|---|---|
| ㈱ハイロックス | デジタルマイクロスコープ | 300万円～ |
| オリンパス㈱ | デジタルマイクロスコープ | お問い合わせください |
| キーエンス㈱ | デジタルマイクロスコープ | お問い合わせください |
顕微鏡
| 取扱メーカー | 製品名 | 金額 |
|---|---|---|
| ㈱島津理化 | 実体顕微鏡 | 3万円～50万円 |
| 生物顕微鏡 | 3万円～50万円 | |
| 金属顕微鏡 | 68万円～ | |
| オリンパス㈱ | 実体顕微鏡、生物顕微鏡 | お問い合わせください |
| ライカマイクロシステムズ㈱ | 実体顕微鏡、生物顕微鏡、金属顕微鏡 | お問い合わせください |
非破壊検査装置
接触角計
表面検査装置
ウェーハ表面検査装置
㈱トプコンテクノハウス
ウェーハ表面検査装置LSシリーズは，パターンなし（鏡面）シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。
レーザー散乱応用技術を用い，パターン形成前の半導体鏡面ウェーハ上の微小異物やさまざまな欠陥を高感度・高速に検査します。
低段差・平坦系欠陥であるシャロースクラッチ，ウォーターマーク，スタッキングフォールト（積層欠陥），研磨起因突起欠陥，成膜起因平坦欠陥などが不良の原因となります。
10 nmオーダーの半導体デバイス製造工程で発生する異物の管理，およびウェーハ出荷・受け入れ品質検査向けに広く活用されています。
| 取扱メーカー | 製品名 | 金額 |
|---|---|---|
| ㈱トプコンテクノハウス | ウェーハ表面検査装置 | お問い合わせください |
| ㈱ミツトヨ | 表面粗さ測定機 | お問い合わせください |
| 画像測定機 | お問い合わせください |
取扱品目に付随する各サービス
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検定
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パーツ供給・修理
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保守契約
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整備・点検